【半導体製造装置関連】PETRAナノインプリントステッパー
ナノ単位で、モールドからワークに複数回に分けて転写する装置。 つくば産総研監修のもとに、弊社が製作した装置です
ナノインプリント本体[モールドテーブルαβ調整モールド機構 高精度XYθウエハステージ ウエハ湾曲機構及びXYステージ アライメント顕微鏡×2 恒温恒湿器 イオナイザー マスフローコントローラ×4(TFP、CTFP、窒素、ヘリウム)] UV光源 デジタルカメラ モールドサイズ：□22mm, □50mm, □75mm（有効は70～72mm角） （石英、厚み6.35mm台形） ウエハサイズ： 8インチSiウエハ（厚み725um）、200mm角ガラス基板（厚み0.55~1.2 mm） 加圧力：10~250N(22mm角49N 0.1MPa, 50mm角250N 0.1MPa, 75mm角0.05MPa) 平行光のLED-UV光源（365nm Φ4インチ面積、10mJ/cm2以上） アライメント精度： プリアライメント1μm以下(パターン検出/エッジ検出）、 精密アライメント100nm以下（モアレ検出） アライメント用精密XYステージ：可動領域120×120mm、分解能10nm以下 アライメント用精密θステージ:可動域、分解能0.25秒以下(0.00007°以下)
- Company：ライズワン
- Price：Other
